Триметиловая алюминиевая высокая чистота

Триметиловый алюминий (TMA) представляет собой химическое соединение с формулой Al (CH3) 3. Это бесцветная жидкость, которая очень легко воспламеняется и реактивна.

TMA используется в качестве предшественника в производстве различных алюминиевых материалов, таких как тонкие пленки оксида алюминия, керамика и катализаторы. Он также используется в полупроводниковой промышленности для осаждения пленок на основе алюминия в производстве электроники.

Тем не менее, TMA очень токсична и должна быть обработана с крайней осторожностью из -за его пирофорической природы и способности высвобождать токсичные газы при контакте с воздухом или водой.